納米壓痕技術

該技術的成功取決于對接觸機理的理解和高級數據采集工具的可用性。基本思想是，當我們使用非常小的探針/壓頭來探查材料時，可以基于探針與材料的相互作用來預測材料的性能。背后的物理學可以追溯到1800年代，當時Hertz，Sneddon和許多其他研究人員開發了兩體接觸所需的接觸力學，但是直到1990年代，Oliver和Pharr才將其進一步發展并找到了一種測量模量和強度的方法。材料與另一種已知材料接觸的硬度。

硬件更新

具有實時傳感位置的閉環X/Y/Z平臺（80 nm分辨率）

更*的可重復測量

提高查找表面速度10倍

無聲運動

高精度力學測量

最小化樣品的預應力

更深的壓痕測量深度(100 µm)

軟件更新

保存并優化實驗配置以*自動化測量

優化的粘附模式允許測量表面更“粘"樣品

測量期間干涉信號的實時校準